50.12.1.14 Производство активно-матричных жидкокристаллических и автоэмиссионных экранов (АМ ЖКЭ) (Прил.20)

660 руб.

Откорректирована в соответствии с "Методическим пособием по расчету, нормированию и контролю выбросов ЗВ в атмосферный воздух", СПб., 2012 г.

№ 140 согласно "Перечню методик, используемых для расчета, нормирования и контроля выбросов загрязняющих веществ в атмосферный воздух".

Устанавливает порядок расчета выбросов загрязняющих веществ при изготовлении подложек тонкопленочных транзисторов (ТПТ). Реализованы расчеты для следующих технологических этапов производства:

  • химическая обработка;
  • фотохимические процессы;
  • анодирование Та2О5;
  • напыление Та;
  • получение плёнки нитрида кремния ( осаждение слоя SiNx). 

В методике реализована возможность провести расчеты с учетом очистного оборудования.

Важно!

Только совместно с позицией