50.12.1.14 РЭ. Расчёт выбросов от производства активно-матричных жидкокристаллических и автоэмиссионных экранов (Прил.20)

"Удельные показатели образования вредных веществ, выделяющихся в атмосферу от основных видов технологического оборудования для предприятий радиоэлектронного комплекса". - СПб, 2006 г.

Может быть использована (по желанию пользователя) с учетом "Методического пособия по расчету, нормированию и контролю выбросов ЗВ в атмосферный воздух", СПб., 2012 г.

№ 8 согласно Перечню методик расчета выбросов вредных (загрязняющих) веществ, утвержденному приказом Минприроды России №341 от 31.07.2018 г.

Устанавливает порядок расчета выбросов загрязняющих веществ при изготовлении подложек тонкопленочных транзисторов (ТПТ). Реализованы расчеты для следующих технологических этапов производства:

• химическая обработка;
• фотохимические процессы;
• анодирование Та2О5;
• напыление Та;
• получение плёнки нитрида кремния ( осаждение слоя SiNx). 

В методике реализована возможность провести расчеты с учетом очистного оборудования.