50.12.1.14 Производство активно-матричных жидкокристаллических и автоэмиссионных экранов (АМ ЖКЭ) (Прил.20)

700 руб.

"Удельные показатели образования вредных веществ, выделяющихся в атмосферу от основных видов технологического оборудования для предприятий радиоэлектронного комплекса". - СПб, 2006 г.

Откорректирована в соответствии с "Методическим пособием по расчету, нормированию и контролю выбросов ЗВ в атмосферный воздух", СПб., 2012 г.

№ 8 согласно Перечню методик расчета выбросов вредных (загрязняющих) веществ, утвержденному приказом Минприроды России №341 от 31.07.2018 г.

Устанавливает порядок расчета выбросов загрязняющих веществ при изготовлении подложек тонкопленочных транзисторов (ТПТ). Реализованы расчеты для следующих технологических этапов производства:

  • химическая обработка;
  • фотохимические процессы;
  • анодирование Та2О5;
  • напыление Та;
  • получение плёнки нитрида кремния ( осаждение слоя SiNx). 

В методике реализована возможность провести расчеты с учетом очистного оборудования.

Важно!

Только совместно с позицией